半导体行业是一个高能耗的行业。在半导体产品制造过程中，由于生产设备的精密性和生产工艺的复杂性，对其配套设施提出了很高的要求，尤其对作为半导体行业血脉的超纯水系统更是高之又高。

江西某电子产业园纯水处理项目

项目背景

电子工业超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，精密过滤器，超滤膜等构成预处理系统，RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等构成主要深度处理设备系统。半导体超纯水设备出水水质要符合美国ASTM纯水水质标准、我国电子工业电子级水质技术标准(18 MΩ.cm、15 MΩ.cm、10 MΩ.cm、2 MΩ.cm、0.5 MΩ.cm)、我国电子工业超纯水水质试行标准、半导体工业用纯水指标、集成电路水质标准。

本项目设计采用“原水+盘式过滤器+超滤系统+反渗透系统+EDI系统+抛光混床处理系统”主要处理工艺组合，出水稳定达到生产用水标准。

(图片来源：立升净水公众号，侵删)

柱式超滤(UF)以压力为推动力的膜分离技术之一。以分离大分子与小分子为目的，常用于高精度纯水处理设备中的预处理系统，已经取得了有效的成绩。

(图片来源：立升净水公众号，侵删)

项目概况

处理规模：40000 m3/d     

投产时间：2019年8月

原水类型：自来水

运行模式：运行30 min，水反洗1 min

处理工艺：原水-盘滤-超滤-两级反渗透-EDI-抛光混床

用途：生产用水

(图片来源：立升净水公众号，侵删)

系统设计水质

产品介绍

该项目设计处理水量40000 m3/d，采用478支LH4-1080-V柱式超滤膜组件，膜材质为PVC合金超滤膜，用于4个纯水车间，2019年8月竣工并进入试运行。

(图片来源：立升净水公众号，侵删)

经验分享

在超纯水制造工艺中，传统预处理方式是“多介质过滤器+活性炭过滤器”。该项目采用了“粗过滤器+超滤装置”作为超纯水系统的预处理部分，优势凸显。

效果好：传统的预处理过程中SDI值不好控制，一般大于5，不利于后续的一级反渗透系统的运行。而超滤装置的出水SDI值比较稳定，通常可保证SDI＜3，能够有效地保证一级反渗透系统的运行。

占地面积小：传统的预处理方式占地而积大，而“粗过滤器+超滤装置”占地而积小，节约了基建费用。

减少人力物力成本：传统的预处理方式在更换填料时需要大量的人力和物力，相比而言，超滤装置的更换方便，大大减少了人力物力成本。

综合一次性投资成本和后期运行维护费用运行更高效：近年来，由于超滤技术的不断成熟，系统能够稳定安全地运行，而且超滤膜的价格也有了大幅度的降低，综合一次性投资成本和后期运行维护费用，超滤膜更能有效保障后期处理设备的安全，延长设备的使用寿命。

(文章来源：立升净水公众号，侵删)